三星248亿元出资这家半导体EUV pellicle 膜公司

  三星电子现已取得了一家韩国公司的股份，该公司出产半导体出产中运用的防护膜。

  FST周二表明，已发行152万股股票供三星购买。这家韩国科技巨子将取得该公司6.9％的股份，成为第三大股东，仅次于FST董事长张明植和CM Technology。

  FST制作防护膜，该防护膜用于维护面罩免受半导体出产中的尘埃的损害，并制作用于操控处理器腔室温度的冷却器。每个事务约占其销售额的一半。

  该公司正在开发用于极紫外（EUV）光刻技能的防护膜。该公司的方针是推出一种全尺度的EUV防护膜，该防护膜是根据碳化硅的30纳米资料，具有90％的透射率。

  现在，尚无可大规划出产EUV防护膜的公司。假如FST成功，将极大地协助其收益。

  上一年，三星收买了多家和半导体出产相关的公司的股份。向mask和防护膜制作商S＆S Tech出资659亿韩元，向前端查看设备制作商YIK出资473亿韩元，向清洁剂和CMP浆料制作商KCTech出资207亿韩元，向陶瓷组件制作商Mico Ceramics出资216亿韩元，向真空设备制作商LOT线亿韩元，向长途等离子体发生器New Power Plasma出资127亿韩元。

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