深耕流体机械领域汉钟精机：真空产品勾勒出新成长曲线

  经过20余年发展，公司以螺杆压缩机为基础，在涡旋、离心压缩机、真空泵等诸多产品上均积累了雄厚的技术实力，同时公司不断开拓下游应用，为众多有名的公司供应产品，公司为美的、海尔等供应制冷压缩机产品，为隆基股份、晶盛机电、中环股份、捷佳伟创等光伏企业供应真空泵产品，台积电、三安光电、华虹半导体等为公司半导体产业真空泵产品的客户。

  公司依据不同场景，研制了相适应的螺杆式压缩机，还布局了 RT 系列离心压缩机、RTM 系列磁悬浮离心压缩机、RTA 系列气悬浮离心压缩机等，公司空调产品总量有望保持稳中有升。

  而国内现存大量老旧冷库，库内设施与运营管理不足以满足市场需求，且部分新库前期规划不够充分，投入到正常的使用中后不足以满足用户实际需求。

  （2）宽温区单机双级压缩机 LT-S-L 系列双级螺杆：在低温冷藏库应用中较市场主流低温单级螺杆运行能效提升 20%~30%。

  受益于制造业的景气，公司2021年上半年空压设备取得一定增长，公司已于2020年开始加强与知名主机厂合作，加速向市场推广产品。

  受益于光伏行业的持续景气，公司真空产品订单情况良好，公司在严苛制程电池片领域的产品表现受到新客户和老客户的肯定。半导体领域，公司加大营销推广力度，成功供货台积电等。

  全球晶圆产能持续扩张，国内份额有望持续提升。根据IC Insights 发布的《2021-2025年全球晶圆产能报告》，2020年12月，全球晶圆装机产能达到2081.4万片/月（8 英寸，折合12 英寸为超920万片/月），同比提升约7%，中国大陆和中国台湾产能相加占据全球份额的37%。

  据 IC Insights 预测，2020年到2025年，中国大陆在全球的产能份额有望增长3.7pcts，成为唯一份额增长的地区（2020年中国大陆在全球的产能占比约为15.3%）。

  根据 IC Insights，以 12 英寸晶圆折合，中国大陆 2019 年底产能约为 120 万片/月，2020 年底则达到 142 万片/月，新增产能 22 万片/月， 对应新增线 万台，考虑到存在针对 2020 年后新增产能提前备货，我们 估算 2020 年半导体对应真空泵新增添的设备需求约为 16 亿元。

  按照每年更换 20%计算，2020 年需更新产能约为 24 万片/月，对应更新线 万台， 对应更新设备需求约为 14 亿元。

  以 Atlas Copco 真空业务作为对标，假设半导体真空业务中服务需求占比 25%，设备销售占比 75%，则对应国内 2020 年服务需求约为 10 亿元。将新增添的设备需求、存量更新需求和服务需求加总，可大致测算得到国内 2020 年对半导体干式线 亿元，若考虑别的类型真空泵（如分子泵等），则市场规模还将更大。

  根据芯思想研究院发布的《中国内地晶圆制造线 年第二季度，中国内地 12 英寸、8 英寸和 6 英寸及以下的晶圆制造线 条（不含纯 MEMS 生产线、化合物半导体生产线和光电子生产线 英寸晶圆制造线 条，装机月产能分别为 118 万片、120 万片。

  截至 2021H1，在建未完工、开工建设或签约的 12 英寸晶圆制造线 条，相关项目计划投资金额高达 6000 亿元，规划月产能达 132 万片，根据中科仪招股说明书，以 12 英寸晶圆生产线 万片/月产能需要约 2,000 台真空泵，按单台干式线 万片月产能对应增量线 亿元。

  国内晶圆 产能建设景气将催生大量真空产品需求，我们判断扩产将有力支撑未来几年国内半导体行 业真空设备需求，同时更新需求将随着存量设备规模扩大而逐步增长。

  根据 IC Insights，全球 2019 年底、2020 年底晶圆装机产能分别约为 867 万片/月和 925 万片/月（折合为 12 英寸晶圆），全球 2020 年新增晶圆产能约 58 万片/月，仍以每 3.5 万片/月产能需要约 2,000 台真空泵、单台干式线 万元估算，则全球新增线 亿元。

  若分别 假设存量干式线.4 万片/月，对应存量线 亿元。在存量高基数的情 况下，存量真空设备需求明显超过增量设备需求。

  公司有三个系列新产品应用于半导体工艺中：（1）PMF，体积超小，超高效节能机型，应用于 Load Lock、TR、Metrology 等干净制程；（2）iPM，体积小、节能等一般严苛工艺腔使用，应用于 PVD、Ashing、ETCH、IPM 等工艺；（3）iPH，抗沾黏、腐蚀、热氮气系统、壳体温度控制，严苛工艺腔使用，应用于 CVD、ALD 等工艺。

  据公司投资者关系活动记录表，目前国产真空泵在半导体领域应用中的占比不到 5%，市场仍被 Atlas Copco 旗下的 Edwards、德国 Pfeiffer 等巨头主导，Atlas Copco 线 亿美元，Pfeiffer 2019 年半导体领域收入超过 17 亿元人民币（2019 年总收入接近 49 亿元人民币，其中半导体领域占比 35.2%）。

  根据中信证券研究部电力设备及新能源组跟踪的未来两年单晶硅片行业扩产规划测算，2021、2022 年行业单晶硅片总产能将分别达到 390GW、601GW，新增产能分别为 160GW、211GW，扩产迅速。

  根据中科仪招股说明书及我们预测，假设 2020 年晶体生长和硅片生产每 GW 需要约 200 台干式真空泵，单台干式线 万元，随着效率提升，假设 2021 年、2022 年每 GW 分别需要 190 台、180 台干式线 年 规划的单晶硅片新增产能分别为 80GW、160GW、211GW，对应新增线 年、2022 年，预计硅片环节新增线）存量替换：

  根据公司投资者关系活动记录表，公司目前真空泵产品主要以光伏领域销售为主，且在拉晶部分已有一定市占率，电池片部分市占率相比拉晶环节较低。

  公司在电池片环节有望复制在硅片环节的成功，HJT 和 TOPCon 将带来显著增量。

  2021年前三季度公司营收达到 21.9 亿元（同比+45.3%），主要由于真空泵业务受益于下游光伏扩产高景气，以及商用中央空调压缩机业务受益于行业回暖。

  公司深耕流体机械领域多年，是国内螺杆式压缩机和真空泵有突出贡献的公司。冷链市场的加快速度进行发展为公司压缩机业务带来新的机遇，真空泵产品则有望充分受益于光伏高景气持续放量，并在半导体领域逐步导入实现国产替代。

  我们选取同为通用机械基础零部件的减速机制造商国茂股份、光伏核心设备厂商捷佳伟创和晶盛机电作为可比公司，可比公司2022年平均 PE 估值为 34 倍。考虑到汉钟精机传统压缩机业务仍有一定营收占比（公司传统压缩机业务对应下游多为传统制造业，且公司传统业务已处于发展成熟阶段，我们预计未来增速不及公司真空产品业务），我们给予公司2022年 30 倍 PE 估值，对应目标价为 36 元。